HDC0510-50Kは、高電圧（DC5kV）、大電流（10A）、大電力（50kW）を発生させる直流高圧電源装置で、さまざまな分野での実験や高電圧設備としてご利用いただいています。また、本装置は３並３直列の電源構成となっているため、ご要望に応じて電源仕様の拡張対応も容易に行うことが可能となっています。異なる電源仕様でご検討の場合には、お気軽にお申し付けください。
電源装置の外観（正面）
電源装置の外観（背面）
用途
- 半導体試験
- プラズマ放電
- スパッタリング
- 分析
- 理化学実験
- 減圧～大気圧プラズマ
用途
- 大電力型直流高圧電源装置
- 出力電圧：～DC5kV
- 出力電流：～10A
- 出力電力：～50kW
- 出力安定度：5%以下
- 外部リモート制御機能装備
電源装置の主仕様
| 仕様／型式 | 大電力型直流高圧電源装置 | |
|---|---|---|
| ＴＥ－ＨＤＣ０５１０－５０Ｋ | ||
| 入力 | 電圧 | AC200V±10% |
| 電流 | 180A以下 | |
| 相数 | 三相 | |
| 周波数 | 50/60Hz | |
| 端子 | 4P端子台 | |
| 出力 | 電圧 | DC100V～DC5kV、可変 |
| 電流 | 0～10A | |
| 容量 | ～50kW | |
| 安定度 | 5%以下 | |
| 端子 | 碍子ネジ端子（M5）、感電防止カバー付き | |
| 機能 | 主電源 | 漏電ブレーカーによる主回路ON/OFF |
| 出力ON／OFF | パネルスイッチによる出力ON/OFF | |
| 電圧可変 | 10回転式ポテンショによる電圧可変 | |
| リモート | ローカル/リモート切替スイッチによる | |
| 制御方式 | CV/CC制御 | |
| 表示器 | 主電源ランプ、出力ONランプ＆パトライト、リモートランプ、ALMランプ 出力電圧・電流表示（デジタルメータ） |
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| 外部I/F | 外部制御：出力ON/OFF、出力電圧 外部モニタ：出力ON/OFF、出力電圧 |
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| 保護 | 過電圧、過電流、温度異常 | |
| 安全 | インターロック端子、非常停止スイッチ、高圧端子カバー | |
| 温・湿度条件 | 0～40℃ 0～80%RH（結露無きこと） | |
| 冷却方式 | ファンによる強制空冷 | |
| 寸法 重量 |
幅：W | 850mm（パネル面等の突起部含まず） |
| 奥行き：D | 800mm（パネル面等の突起部含まず） | |
| 高さ：H | 1765mm（パネル面等の突起部含まず） | |
| 重量 | 350kg以下 | |
| 注記事項 | 本製品は、製品性能の改善・改良に伴う仕様変更、改定の場合もあります。 最新の製品情報につきましては、都度のお問合せでご確認ください。 |
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