HFVE8012K-6000は、減圧下におけるプラズマ発生用に設計・開発した大電力型の高周波・高圧電源装置です。
基本的な構成はHFVシリーズに準じた回路構成となっていますが、減圧下による放電のため、出力電圧は～1200Vrms、出力周波数は80kHzで、放電時インピーダンスの変化にも電圧変動が最小限となるように電源出力インピーダンスも低減しています。
更には、外部リモート信号による出力のON/OFFやパルス信号によるバースト制御等の拡張機能も標準装備しています。
電源装置の外観（正面、2台分）
電源装置の外観（背面、2台分）
用途
- プラズマジェット
- 誘電体バリア放電
- 水中プラズマ
- オゾン発生
- 減圧～大気圧プラズマ
特徴
- ＬＣ共振による準正弦波出力
- 高周波・大電力型
- 出力周波数：80kHz
- 出力電圧：～1200Vrms
- 出力電流：～5Arms
- 出力電力：～6000W
- 外部リモート制御機能
高周波・高圧出力波形
連続動作時の出力電圧・電流波形電圧：1.76kVpp、電流：1.44App、周波数：80kHz
バースト動作時の出力電圧・電流波形電圧：1.78kVpp、電流：1.06App、周波数：80kHz
電源装置の主仕様
| 仕様／型式 | ＨＦＶ拡張シリーズ 減圧下プラズマ発生用高周波・高圧電源装置 | |
|---|---|---|
| ＴＥ－ＨＦＶＥ８０１２Ｋ－６０００ | ||
| 入力 | 電圧 | AC200V±10% |
| 電流 | 28A以下 | |
| 相数 | 三相 | |
| 周波数 | 50/60Hz | |
| 端子 | 4P端子台 | |
| 出力 | 周波数 | 80kHz |
| 電圧 | ～1200Vrms、可変 | |
| 電流 | ～5Arms | |
| 容量 | ～6000W | |
| 波形 | ＬＣ共振による準正弦波 | |
| 端子 | 碍子ネジ端子（M5）、感電防止カバー付き | |
| 機能 | 主電源 | 安全ブレーカーによる主回路ON/OFF |
| 出力ON／OFF | パネルスイッチによる出力ON/OFF | |
| 電圧 | 10回転式ポテンショによる電圧可変 | |
| 電力 | 10回転式ポテンショによる電力可変 | |
| 表示器 | 主電源ランプ、出力ONランプ、リモートONランプ、ALMランプ 出力電圧（デジタルメータ）、出力電力（デジタルメータ） |
|
| 外部I/F | リモート制御（ON/OFF、モニタ、電圧制御、インターロック） バースト制御（外部パルスによる同期制御） |
|
| 保護 | 過電圧、過電流、温度異常 | |
| 安全 | インターロック端子、非常停止スイッチ、高圧端子カバー | |
| 温・湿度条件 | 0～40℃ 0～80%RH（結露無きこと） | |
| 冷却方式 | ファンによる強制空冷 | |
| 寸法 重量 |
幅：W | 570mm（パネル面等の突起部含まず） |
| 奥行き：D | 700mm（パネル面等の突起部含まず） | |
| 高さ：H | 1400mm（パネル面等の突起部含まず） | |
| 重量 | 100kg以下 | |
| 注記事項 | 本製品は、製品性能の改善・改良に伴う仕様変更、改定の場合もあります。 最新の製品情報につきましては、都度のお問合せでご確認ください。 |
|