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玉置電子工業
先端技術の研究・開発を高周波・高圧電源で支える
「玉置電子工業株式会社」

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高圧電源・高周波電源装置減圧下プラズマ発生用高周波・高圧電源:TE-HFVE8012K-6000

 HFVE8012K-6000は、減圧下におけるプラズマ発生用に設計・開発した大電力型の高周波・高圧電源装置です。
基本的な構成はHFVシリーズに準じた回路構成となっていますが、減圧下による放電のため、出力電圧は~1200Vrms、出力周波数は80kHzで、放電時インピーダンスの変化にも電圧変動が最小限となるように電源出力インピーダンスも低減しています。
更には、外部リモート信号による出力のON/OFFやパルス信号によるバースト制御等の拡張機能も標準装備しています。

電源装置の外観(正面、2台分) 電源装置の外観(正面、2台分)
電源装置の外観(背面、2台分) 電源装置の外観(背面、2台分)

用途

  • プラズマジェット
  • 誘電体バリア放電
  • 水中プラズマ
  • オゾン発生
  • 減圧~大気圧プラズマ

特徴

  • LC共振による準正弦波出力
  • 高周波・大電力型
  • 出力周波数:80kHz
  • 出力電圧:~1200Vrms
  • 出力電流:~5Arms
  • 出力電力:~6000W
  • 外部リモート制御機能

高周波・高圧出力波形

連続動作時の出力電圧・電流波形 連続動作時の出力電圧・電流波形
電圧:1.76kVpp、電流:1.44App、周波数:80kHz
バースト動作時の出力電圧・電流波形 バースト動作時の出力電圧・電流波形
電圧:1.78kVpp、電流:1.06App、周波数:80kHz

電源装置の主仕様

仕様/型式 HFV拡張シリーズ 減圧下プラズマ発生用高周波・高圧電源装置
TE-HFVE8012K-6000
入力 電圧 AC200V±10%
電流 28A以下
相数 三相
周波数 50/60Hz
端子 4P端子台
出力 周波数 80kHz
電圧 ~1200Vrms、可変
電流 ~5Arms
容量 ~6000W
波形 LC共振による準正弦波
端子 碍子ネジ端子(M5)、感電防止カバー付き
機能 主電源 安全ブレーカーによる主回路ON/OFF
出力ON/OFF パネルスイッチによる出力ON/OFF
電圧 10回転式ポテンショによる電圧可変
電力 10回転式ポテンショによる電力可変
表示器 主電源ランプ、出力ONランプ、リモートONランプ、ALMランプ
出力電圧(デジタルメータ)、出力電力(デジタルメータ)
外部I/F リモート制御(ON/OFF、モニタ、電圧制御、インターロック)
バースト制御(外部パルスによる同期制御)
保護 過電圧、過電流、温度異常
安全 インターロック端子、非常停止スイッチ、高圧端子カバー
温・湿度条件 0~40℃ 0~80%RH(結露無きこと)
冷却方式 ファンによる強制空冷
寸法
重量
幅:W 570mm(パネル面等の突起部含まず)
奥行き:D 700mm(パネル面等の突起部含まず)
高さ:H 1400mm(パネル面等の突起部含まず)
重量 100kg以下
注記事項 本製品は、製品性能の改善・改良に伴う仕様変更、改定の場合もあります。
最新の製品情報につきましては、都度のお問合せでご確認ください。