HFVE8012K-6000は、減圧下におけるプラズマ発生用に設計・開発した大電力型の高周波・高圧電源装置です。
基本的な構成はHFVシリーズに準じた回路構成となっていますが、減圧下による放電のため、出力電圧は~1200Vrms、出力周波数は80kHzで、放電時インピーダンスの変化にも電圧変動が最小限となるように電源出力インピーダンスも低減しています。
更には、外部リモート信号による出力のON/OFFやパルス信号によるバースト制御等の拡張機能も標準装備しています。


用途
- プラズマジェット
- 誘電体バリア放電
- 水中プラズマ
- オゾン発生
- 減圧~大気圧プラズマ
特徴
- LC共振による準正弦波出力
- 高周波・大電力型
- 出力周波数:80kHz
- 出力電圧:~1200Vrms
- 出力電流:~5Arms
- 出力電力:~6000W
- 外部リモート制御機能
高周波・高圧出力波形

電圧:1.76kVpp、電流:1.44App、周波数:80kHz

電圧:1.78kVpp、電流:1.06App、周波数:80kHz
電源装置の主仕様
仕様/型式 | HFV拡張シリーズ 減圧下プラズマ発生用高周波・高圧電源装置 | |
---|---|---|
TE-HFVE8012K-6000 | ||
入力 | 電圧 | AC200V±10% |
電流 | 28A以下 | |
相数 | 三相 | |
周波数 | 50/60Hz | |
端子 | 4P端子台 | |
出力 | 周波数 | 80kHz |
電圧 | ~1200Vrms、可変 | |
電流 | ~5Arms | |
容量 | ~6000W | |
波形 | LC共振による準正弦波 | |
端子 | 碍子ネジ端子(M5)、感電防止カバー付き | |
機能 | 主電源 | 安全ブレーカーによる主回路ON/OFF |
出力ON/OFF | パネルスイッチによる出力ON/OFF | |
電圧 | 10回転式ポテンショによる電圧可変 | |
電力 | 10回転式ポテンショによる電力可変 | |
表示器 | 主電源ランプ、出力ONランプ、リモートONランプ、ALMランプ 出力電圧(デジタルメータ)、出力電力(デジタルメータ) |
|
外部I/F | リモート制御(ON/OFF、モニタ、電圧制御、インターロック) バースト制御(外部パルスによる同期制御) |
|
保護 | 過電圧、過電流、温度異常 | |
安全 | インターロック端子、非常停止スイッチ、高圧端子カバー | |
温・湿度条件 | 0~40℃ 0~80%RH(結露無きこと) | |
冷却方式 | ファンによる強制空冷 | |
寸法 重量 |
幅:W | 570mm(パネル面等の突起部含まず) |
奥行き:D | 700mm(パネル面等の突起部含まず) | |
高さ:H | 1400mm(パネル面等の突起部含まず) | |
重量 | 100kg以下 | |
注記事項 | 本製品は、製品性能の改善・改良に伴う仕様変更、改定の場合もあります。 最新の製品情報につきましては、都度のお問合せでご確認ください。 |