先端技術の研究・開発を高周波・高圧電源で支える
「玉置電子工業株式会社」

HFVEシリーズは、HFVシリーズを拡張した高周波・高圧電源装置です。従来シリーズの性能、機能に加えて、周波数可変機能を搭載した高周波・高圧電源となっています。また、HFVEシリーズでは対象とする負荷条件や電源仕様に応じて、カスタム対応も行っていますので、異なる周波数帯でのご使用をお考えの場合は、お気軽にご相談いただければ幸いです。

電源装置の外観（正面）

用途

• プラズマジェット
• 誘電体バリア放電
• 水中プラズマ
• オゾン発生
• 減圧～大気圧プラズマ

電源装置（1200W）の外観（背面＆上面）

特徴

• LC共振による準正弦波出力
• HFVシリーズの標準機能に加え、周波数切替機能を搭載
• 出力周波数：5kHz～15kHz（1kHzステップで切替え可）
• 出力電圧：～20kVpp
• 出力電力：～400W
• 容量性負荷：～100pF

高周波・高圧出力波形

周波数：5kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：20.0kVpp、電流：84mApp、負荷：50pF

周波数：5kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：20.6kVpp、電流：88mApp、負荷：100pF

周波数：6kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：20.2kVpp、電流：76mApp、負荷：50pF

周波数：6kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：20.8kVpp、電流：108mApp、負荷：100pF

周波数：7kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：20.6kVpp、電流：90mApp、負荷：50pF

周波数：7kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：20.8kVpp、電流：124mApp、負荷：100pF

周波数：8kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：20.4kVpp、電流：94mApp、負荷：50pF

周波数：8kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：20.8kVpp、電流：136mApp、負荷：100pF

周波数：9kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：20.8kVpp、電流：108mApp、負荷：50pF

周波数：9kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：20.8kVpp、電流：152mApp、負荷：100pF

周波数：10kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：20.6kVpp、電流：122mApp、負荷：50pF

周波数：10kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：21.0kVpp、電流：168mApp、負荷：100pF

周波数：11kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：20.8kVpp、電流：142mApp、負荷：50pF

周波数：11kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：21.0kVpp、電流：196mApp、負荷：100pF

周波数：12kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：21.0kVpp、電流：152mApp、負荷：50pF

周波数：12kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：20.8kVpp、電流：208mApp、負荷：100pF

周波数：13kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：21.4kVpp、電流：136mApp、負荷：50pF

周波数：13kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：21.0kVpp、電流：208mApp、負荷：100pF

周波数：14kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：21.2kVpp、電流：184mApp、負荷：50pF

周波数：14kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：20.8kVpp、電流：232mApp、負荷：100pF

周波数：15kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：21.4kVpp、電流：200mApp、負荷：50pF

周波数：15kHz出力時の出力電圧・電流波形（50us/div）
電圧：20.8kVpp、電流：240mApp、負荷：100pF

電源装置の主仕様