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玉置電子工業
先端技術の研究・開発を高周波・高圧電源で支える
「玉置電子工業株式会社」

〒332-0001 埼玉県川口市朝日 3-13-6
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カスタム電源開発事例開発事例6:周期・周波数可変型高周波・高圧電源装置の開発

お客様より数多く寄せられるお問合せ事項として、プラズマ用途の研究・開発において、プラズマ生成と電源出力(周期や周波数)の依存性評価を行いたいとのご相談があります。これらの疑問や課題を評価するためには、多岐にわたる周波数や周期で可変ができる電源装置が必要となります。このような製品は既製品では流通していないため、当社では今後のプラズマ用途・目的の更なる発展、拡大を期して、周期・周波数可変型の高周波・高圧電源装置を開発しました。

電源装置の外観 電源装置の外観
内蔵SiCモジュールの画像 内蔵SiCモジュールの画像

開発時のポイント

電源装置の出力電圧・電流波形(100kHz、20kVpp) 電源装置の出力電圧・電流波形(100kHz、20kVpp)

出力周期・周波数の動作可変域

※パルス波とは、連続波と異なり出力波形にOFF期間が含まれる場合を示してます。

主な出力電圧・電流波形

基本波:5kHz

基本波周波数:5kHz、波形周期:1kHz  出力電圧:20kVpp 基本波周波数:5kHz、波形周期:1kHz
出力電圧:20kVpp
基本波周波数:5kHz、波形周期:5kHz  出力電圧:20kVppz 基本波周波数:5kHz、波形周期:5kHz
出力電圧:20kVpp

基本波:10kHz

基本波周波数:10kHz、波形周期:1kHz  出力電圧:20kVpp 基本波周波数:10kHz、波形周期:1kHz
出力電圧:20kVpp
基本波周波数:10kHz、波形周期:10kHz  出力電圧:20kVpp 基本波周波数:10kHz、波形周期:10kHzz
出力電圧:20kVpp

基本波:20kHz

基本波周波数:20kHz、波形周期:1kHz  出力電圧:20kVpp 基本波周波数:20kHz、波形周期:1kHz
出力電圧:20kVpp
基本波周波数:20kHz、波形周期:20kHz  出力電圧:20kVpp 基本波周波数:20kHz、波形周期:20kHz
出力電圧:20kVpp

基本波:40kHz

基本波周波数:40kHz、波形周期:1kHz  出力電圧:20kVpp 基本波周波数:40kHz、波形周期:1kHz
出力電圧:20kVpp
基本波周波数:40kHz、波形周期:40kHz  出力電圧:20kVpp 基本波周波数:40kHz、波形周期:40kHz
出力電圧:20kVpp

基本波:80kHz

基本波周波数:80kHz、波形周期:1kHz  出力電圧:20kVpp 基本波周波数:80kHz、波形周期:1kHz
出力電圧:20kVpp
基本波周波数:80kHz、波形周期:80kHz  出力電圧:20kVpp 基本波周波数:80kHz、波形周期:80kHz
出力電圧:20kVpp

基本波:100kHz

基本波周波数:100kHz、波形周期:1kHz  出力電圧:20kVpp 基本波周波数:100kHz、波形周期:1kHz
出力電圧:20kVpp
基本波周波数:100kHz、波形周期:100kHz  出力電圧:20kVpp 基本波周波数:100kHz、波形周期:100kHz
出力電圧:20kVpp

電源装置の主仕様

仕様/型式 周期・周波数可変型高周波・高圧電源装置
TE-EVPS10020K-2500(C)
入力 電圧 AC200V±10%
電流 20A以下
相数 単相
周波数 50/60Hz
端子 3P端子台
出力 波形周波数 5kHz/10kHz/20kHz/40kHz/80kHz/100kHzの切替
波形周期 1kHz/5kHz/10kHz/20kHz/40kHz/80kHz/100kHzの切替
電圧 ~20kVpp、可変
容量 ~2500W
~10kVA
波形 LC共振による準正弦波
負荷容量 ~100pF以下
端子 碍子構造の専用端子(M5)、安全カバー付き
機能 主電源 漏電ブレーカーによる主回路ON/OFF
出力ON/OFF オルタネートスイッチによる出力ON/OFF
電圧可変 10回転式ポテンショによる電圧可変
波形周波数 ロータリスイッチによる切替(別途、配線経路も要切替)
波形周期 ロータリスイッチによる切替(別途、配線経路も要切替)
表示器 主電源ランプ、出力ONランプ、アラームランプ
出力電圧(アナログメータ)
保護 過電圧、過電流、温度異常
安全 インターロック端子、非常停止スイッチ、高圧端子カバー
冷却方式 ファンによる強制空冷
寸法
重量
幅:W 600mm(パネル面等の突起部含まず)
奥行き:D 800mm(パネル面等の突起部含まず)
高さ:H 1800mm(パネル面等の突起部含まず)
重量 150kg以下
装置正面 装置正面
装置背面 装置背面