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玉置電子工業
先端技術の研究・開発を高周波・高圧電源で支える
「玉置電子工業株式会社」

〒332-0001 埼玉県川口市朝日 3-13-6
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カスタム電源開発事例開発事例1:プラズマジェット用高周波・高圧電源装置の開発

当社では、お客様の用途・目的に応じた電源装置のカスタム対応を柔軟に対応しています。ここで紹介する高周波・高圧電源もお客様の用途・目的に応じて、当社標準品電源(HFVシリーズ)に新たな機能として、ヘリウムガスの流量調整機能やプラズマエネルギーを制御するためのバースト機能等を追加した高周波・高圧電源装置となっています。
今後も皆様の研究・開発に即した製品開発、提供を行いたいと思いますので、お気軽にお申し付けいただければ幸いです。

電源装置の外観 電源装置の外観
プラズマジェットの様子 プラズマジェットの様子

開発時のポイント

電源装置の出力電圧・電流波形 電源装置の出力電圧・電流波形

バースト動作時の出力波形

20ms周期(10msのON/OFF)のバースト動作 20ms周期(10msのON/OFF)のバースト動作
2s周期(1sのON/OFF)バースト動作 2s周期(1sのON/OFF)バースト動作

電源装置の主仕様

仕様/型式 HFVシリーズカスタム版 プラズマジェット用高周波・高圧電源装置
TE-HFVE1520K-0400a(C)
入力 電圧 AC100V±10%
電流 10A以下
相数 単相
周波数 50/60Hz
端子 3Pインレット
出力 周波数 15kHz
バースト制御 ON/OFF共に10ms~99.99s
電圧 4kVpp~20kVpp、可変
容量 ~400W
~1kVA
波形 LC共振による準正弦波
負荷容量 ~100pF以下
端子 バナナジャック
機能 主電源 安全ブレーカーによる主回路ON/OFF
出力ON/OFF オルタネートスイッチによる出力ON/OFF
電圧可変 10回転式ポテンショによる電圧可変
バースト制御 トグルスイッチによる連続/バースト動作の切替
デジタルタイマによるバーストON/OFF時間設定
ガス制御 スイッチによるガス電磁弁のON/OFF
圧力スイッチによるガス圧監視(インターロック)
ニードルバルブ付き流量計によるガス流量の調整
表示器 主電源ランプ、HVランプ、ALMランプ、ガス圧状態表示ランプ
出力電圧(アナログメータ)
保護 過電圧、過電流、温度異常
安全 インターロック端子、非常停止スイッチ、高圧端子カバー、ガス圧監視
可搬性 電源装置の天板に可搬時用の取手付き
冷却方式 ファンによる強制空冷
ガス 適用ガス ヘリウム
IN/OUT 適用チューブ外径(φ4mm)
ガス圧力 0.2Mpa(最大)
圧力監視 0.1Mpa以上で電源出力動作可
流量計 ~10ℓ/min最大
寸法
重量
幅:W 330mm(パネル面等の突起部含まず)
奥行き:D 380mm(パネル面等の突起部含まず)
高さ:H 198mm(パネル面等の突起部含まず)
重量 10kg以下

電源装置の主な機能

フロントパネルの主な機能 フロントパネルの主な機能
  1. POWERランプ 電源投入時(リア・ブレーカー)に点灯します。
  2. GAS OUTスイッチ ガスのON/OFFスイッチです。
    ※ON時点灯します。
  3. GAS PRESSURE LED ガス圧の有無状態表示です。
    0.1Mpa未満の場合赤LEDが点灯し、電源出力ができません。
    0.1Mpa以上の場合緑LEDが点灯し、電源出力が可能です。
  4. FLOW RATE ニードルバルブ付きの流量計です。
  5. TIMER バースト動作時のON幅、OFF幅時間を設定します。
  6. VOLTAGEメータ 出力電圧メータです。
  7. 出力切替スイッチ 連続出力、バースト出力を切り替えるスイッチです。
    高圧出力中の切替えはできません。
  8. HV OUTスイッチ 高圧出力のON/OFFスイッチです。
    ※ON時点灯します。
  9. V CONポテンショ 出力電圧調整用10回転ポテンショ
  10. ALM LED 電源異常時点灯します。
  11. EMGボタン 非常停止スイッチ
     プッシュロック時 : 動作不可 ALM動作
     ターンリセット時 : 動作可
  12. GAS OUT継手 ガス出力継手です。適用チューブ外形4mm
  13. RETURNコネクタ 負荷からのリターン線接続用バナナジャックです。
  14. HV OUTコネクタ 高圧出力線接続用バナナジャックです。
リアパネルの主な機能 リアパネルの主な機能
  1. 排気用スロット 電源装置排気口です。
  2. INTER LOCK 外部インターロック制御端子です。
     端子間ショート時 : 動作可
     端子間オープン時 : 動作不可
     ※外部接点を使用される場合、無電圧接点を使用してください。
  3. FG端子 アース接続用端子です。
  4. GAS IN ガス入力継手です。適用チューブ外形4mm
  5. POWERブレーカ 入力電源用のブレーカースイッチです。
  6. INPUT ACコネクタ 入力電源ケーブル用の3Pインレットコネクタです。
    ※付属の電源ケーブルを接続してください。